ベアシリコンウェハ

量産製造、装置点検、研究開発など様々な始まりには、ダミーウェハがその安全性や、検証データを確保する上で重要な役割を果たし、搬送チェックやプロセスの評価に多く使用されます。D&Xの強みは、φ2㎜からφ12㎜までのさまざまな規格/仕様に対応するダミーウェハにあります。特に標準仕様に関しては、非常に競争力のある価格でご提案が可能で、常時在庫があるため、迅速な出荷対応を確約します。

異物粒子制御ウェハは、一般的にはダストフリーウェハとして言われます。標準の場合25枚/1ケースでウェハが入っており、保護のために真空パックされています。これらのウェハは、テスト、モニター、プライムの3つのカテゴリに分類されます。
テストとモニターウェハは、研究や初期生産向けに使われており、一方、プライムウェハは高度な異物粒子制御と平坦度を備えた優れた品質を提供することが可能です。これらは特にフォトリソグラフィやICチップの製造などに適しており、基板上に回路パターンを形成し、デバイスを製造する際に重要な役割を果たします。
D&Xでは、平坦度と異物粒子制御のさまざまな追加条件にも対応しており、予算や計画の要件に合った最適なソリューションを選択できるようにしています。