ベアシリコンウェハ

量産製造、装置点検、研究開発など様々な始まりには、ダミーウェハがその安全性や、検証データを確保する上で重要な役割を果たし、搬送チェックやプロセスの評価に多く使用されます。D&Xの強みは、φ2㎜からφ12㎜までのさまざまな規格/仕様に対応するダミーウェハにあります。特に標準仕様に関しては、非常に競争力のある価格でご提案が可能で、常時在庫があるため、迅速な出荷対応を確約します。

異物粒子制御ウェハは、一般的にダストフリーウェーハとも呼ばれています。標準梱包は25枚入りで、保護のため真空密封されています。これらのウェーハは、テストグレード、モニターグレード、プライムグレードの3種類に分類されます。

テストグレードおよびモニターグレードのウェーハは、研究開発や量産初期段階での使用を目的としており、プライムグレードのウェーハは、高度なパーティクル管理と優れた平坦度を備えた高品質な製品です。半導体製造、フォトリソグラフィー、IC製造などの分野で幅広く使用されています。

さらに、D&Xでは、高抵抗率、低酸素濃度、高純度を特長とするFZ（Float Zone）シリコンウェーハも取り扱っております。FZウェーハは、パワーデバイス、RF（高周波）用途、先端研究などに特に適しています。お客様のご要望に応じたカスタム仕様にも対応可能です。